擴(kuò)散泵機(jī)組是目前獲得高真空的醉廣泛、醉主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

　　擴(kuò)散泵機(jī)組的主泵是一種高真空泵，其工作介質(zhì)為擴(kuò)散泵油，其抽氣過(guò)程是被抽氣體擴(kuò)散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口在由羅茨泵和機(jī)械泵帶走的過(guò)程，是一種抽速可以做得很高真空泵。油擴(kuò)散泵不能單獨(dú)使用，必須有前級(jí)真空泵串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到擴(kuò)散泵所能接受的壓力時(shí)才能開(kāi)始工作，否則，油擴(kuò)散泵將不能正常工作并造成氧化大量的返油等情況。該設(shè)備可用于真空爐體、真空罐體、氣站管道類(lèi)等器件的真空排氣。

　　廣泛應(yīng)用于：真空冶煉、真空焊接、分析儀器、功能型鍍膜、裝飾型鍍膜、電子管制造、電真空器件制造、光學(xué)、外層空間模擬、粒子加速器、石油化工、實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。

　　擴(kuò)散泵機(jī)組性能特點(diǎn)

　　1、具有很大的抽速和抽氣能力

　　2、在高真空階段具有恒定的最大抽氣能力

　　3、使用壽命長(zhǎng)、基本不需要維護(hù)

　　擴(kuò)散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)，被抽氣體的分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來(lái)，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過(guò)幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級(jí)壓縮，最后由前級(jí)泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。